現(xiàn)有的光學(xué)非接觸測(cè)量方法難以完成高反射曲面零件的三維形貌高精度測(cè)量,，已經(jīng)難以滿足現(xiàn)代工業(yè)數(shù)字化需求。中圖三維光學(xué)表面輪廓儀品牌采用白光軸向色差原理,，利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成,，是一種用于對(duì)樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高、高分辨率的三維檢測(cè)的精密儀器,，它的特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級(jí)的檢測(cè)精度,。

測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，可以快速獲取被測(cè)工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測(cè),，主要用于成品質(zhì)量的管理,，確保良品合格率。

產(chǎn)品參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn)配置

技術(shù)指標(biāo)

Superview w1三維表面輪廓儀具有測(cè)量精度高,、分析功能強(qiáng)大,、使用方便、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),，其*的光源模式,，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè)。系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng),，操作方便,。還有雙重防撞防護(hù)：

1、軟件防撞保護(hù) ZSTOP

ZSTOP是是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位,，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí)，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng),，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用,。

2、Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,，并觸發(fā)緊急停止開(kāi)關(guān),，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷,，雙重防護(hù),，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任,。

大多數(shù)的場(chǎng)景中,，只需檢測(cè)一個(gè)數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域,，但在少數(shù)需要檢測(cè)超精密器件表面全貌的場(chǎng)景中,，借助中圖儀器SuperView W1三維表面輪廓儀的自動(dòng)拼接功能，就能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域,、高精度的測(cè)量,。

超光滑的弧形表面：

粗糙的特征表面：

中圖三維光學(xué)表面輪廓儀品牌可以對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的粗糙度、波紋度,、平面度,、面形輪廓、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、表面缺陷,、磨損情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。